氮气晶圆烘片机应用于手动晶圆烘干，对湿法腐蚀清洗后的晶圆进行烘干的操作。4寸、6寸、8寸（向下兼容）晶圆可适用，采用氮气加热的方式可一次性烘干5片以上晶圆（具体可定制）。

      区别于市场上动辄十几万、几十万的晶圆清洗甩干机不同，本产品具有操作简单、价格低廉、性价比高等优点，特别适合大学院校、研发实验室对产量要求不高、预算有限的产品研发与产品验证。

基本配置：整机尺寸：453mm（长）×550mm（宽）

1）875mm（高）;具体如下：

2）主体材料: 316镜面不锈钢板

3）316不锈钢热氮气槽：（8英寸晶片单片）槽体尺寸： 300mm×300mm×300mm；均配不锈钢翻盖，设备后有维修门。

4）槽体底部有残液排液口与排气口

5）石英在线加热器，位于N2烘干槽下部，内包保温棉。加热功2500W。加热后氮气从槽体上部、底部进入不锈钢槽内锥形喷嘴，均匀向晶片上部及底部片吹热氮气，氮气压力、流量可调，控温范围：室温-70℃。连续可调。槽底部有调速电机，旋转盘，晶片支架。转速可调节，转速：7-100转可调。

6）供电电源使用单相交流220V,50HZ。整机功率2.8KW。

7）设备外围条件：（仅供参考）

1.  使用氮气压力：     0.35～0.6MPa；

2.  使用氮气管径:     φ10；

3.  用氮气流量：       40L/min

4.  排液口管径：      大于设备排液口径；

5.  电源：单相交流220VAC±10%；频率: 50HZ；电源供电，空气断路器使用16A。