1.涉及半导体制造技术领域，是一种用于晶圆搬运的电子推车；

2.洞洞板及凹槽拆卸清洗简单，不繁杂；

3.承载平台表面用于放置晶圆盒，材料厚度均由甲方决定；

4.包括车轮，车身，以及把手，其特征在于：电磁制动系统；

5.在移动平台表面设置有承载平台，移动平台与承载平台之间设置有称重传感器；

6.含有移动平台，移动平台底部设置有减震轮跟刹车固定装置，板材及轮子优先选用防静电材料，底部可加接地双托链，以保证推动时晶圆的安全平稳性；

7.本实用新型避免了晶圆运输推车翻到并导致 晶圆破损的问题，具有无污染、结构紧凑、操作 简单、响应灵敏、寿命长久和实用可靠的优点；