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水平式晶圆甩干机

适用于: 晶圆(WAFER)光刻版 硅片(WAFER)掩膜版 磷化铟(INP)光罩版 氮化镓(GAN)蓝宝石 砷化镓(GAAS)光学材料 碳化硅(SIC)陶瓷材料

产品描述


半导体LED光学等各种材料清洗甩干:

甩干机主要由主轴传动部分,片盒夹具,工作外腔,机架罩壳,加热部分,洁净管路部分,电气控制等组成。

1)伺服直驱      

2)高效率

3)迷宫式轴封

4)方形尺寸

5)振动小

6)圆形尺寸

7)可靠性好

8)可非标定制

9)多工位

产品参数


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