水平式晶圆甩干机
适用于: 晶圆(WAFER)光刻版 硅片(WAFER)掩膜版 磷化铟(INP)光罩版 氮化镓(GAN)蓝宝石 砷化镓(GAAS)光学材料 碳化硅(SIC)陶瓷材料
产品描述
半导体LED光学等各种材料清洗甩干:
甩干机主要由主轴传动部分,片盒夹具,工作外腔,机架罩壳,加热部分,洁净管路部分,电气控制等组成。
1)伺服直驱
2)高效率
3)迷宫式轴封
4)方形尺寸
5)振动小
6)圆形尺寸
7)可靠性好
8)可非标定制
9)多工位
产品参数
水平式晶圆甩干机
适用于: 晶圆(WAFER)光刻版 硅片(WAFER)掩膜版 磷化铟(INP)光罩版 氮化镓(GAN)蓝宝石 砷化镓(GAAS)光学材料 碳化硅(SIC)陶瓷材料
产品描述
半导体LED光学等各种材料清洗甩干:
甩干机主要由主轴传动部分,片盒夹具,工作外腔,机架罩壳,加热部分,洁净管路部分,电气控制等组成。
1)伺服直驱
2)高效率
3)迷宫式轴封
4)方形尺寸
5)振动小
6)圆形尺寸
7)可靠性好
8)可非标定制
9)多工位
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