1. 12寸晶圆，EFEM采用4 个 Load Port设计。

2. EFEM可选择专用晶圆机械手或自有专利机械手臂，含Mapping功能。 

3. 每个处理槽有两只摆动手臂，摆动手臂配置SC1、纯水、氮气干燥管路。 

4. 含有灭火功能，排气功能、FFU 系统，CCD监控。

5. 设备主体和内部框架均由镜面不锈钢 SUS316L 焊接而成。既保证了设备的 整体强度，又提高了设备的耐腐蚀性和美观性。