1. 兼容4寸6寸晶圆，4 个 open cassette设计，2 个用于丙酮去胶，2 个用于 Flux 清洗。 

2. 台湾上银晶圆机械手，含Mapping功能。

3. 丙酮去胶单元2套，Flux 清洗单元2套。

4. 工控机控制，含有灭火功能，FFU 系统，CCD监控。

5. 设备主体和内部框架均由镜面不锈钢 SUS316L 焊接而成。既保证了设备的 整体强度，又提高了设备的耐腐蚀性和美观性。 

6. 在正常生产情况下，设备良率可达到 99.5% ，MTBF>600hrs ， MTTR≦4hrs 。 

7. 设备稼动率≧98% 。 

8. 设备尺寸2300*1900*2200mm 。