材质：Si/SIO2

明度：兼容透明/半透明/不透明wafer

摆臂扫描范围及速度，升降高度：可设置

晶圆传输方式：人工手动传片，干进干出。

晶圆传输方式：人工手动传片，干进干出。

光刻版规格：9吋。

材质：Si/SI02

整机机架：1套

清洗干燥单元：1套，C1

不锈钢骨架，外壳pp

机台配照明装置

设备安全保障措施

机台配防水底托

设备支撑：防腐脚轮，支撑地脚

设备电控区、管路区、槽体安装区均设维护门。

排风口：配整机排风口和腔体局部排风口。

排风可手动分量。