手动片盒清洗机
该设备用于半导体器件制程中标准cassette的清洗工艺。
产品描述
1.清洗规格:标准6〞、8〞cassette。
2.槽体规格:10×6〞cassette /槽次、4×8〞cassette /槽次。
3.上下料方式:人工手动。
4.设备骨架:金属型材设计加工而成,外包 PP 板材。
5.设备壳体:进口 10mm 厚白色 PP 板材设计加工。
6.作业区采用日光 LED 灯管照明。
7.操作门结构:上下推拉门。
8.设备台面:网孔结构。
9.设备电控区、管路区、槽体安装区均设维护门。
10.进风口:大小可调。
11.排风口:大小可调。
12.设备支撑:防腐脚轮、支撑地脚。
13.防水托盘:有。
14.电气及软件控制系统。
15.设备安全设置。
16.提篮升降机构。
产品参数
序号 | 设备型号名称 | 单台设备组成部件 | 设备外形尺寸(mm) | 备注 | |
部件名称 | 数量 | ||||
1 | 手动片盒清洗机 | 设备主机 | 1 | L2500×W1500×H2000 | PP机架 |
附件:定制提篮 | 1 | 适用于10×6〞cassette、4×8〞cassette清洗 | SUS材质 |