陈经理 1807027586 
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RCA全自动清洗机
全自动模组化设备
产品描述
全自动模组化设备，槽体按工艺要求配置，可搭载EFEM及OHT
前置机械手,可做兼容模式(4"/6\ 6"/8'\ 8"/12")
干进干出，有IPA Dryer/SRD依工艺要求选择合适的Dryer Type
有效清除残留在晶圆表面的Organic, Particle, metal污染的清洁，进阶搭配03, FR, HF Last
产品参数
| 序 号 | 设备型号名称 | 数量 | 单台设备组成部件 | 设备外形尺寸（mm） | 备注 | |||
| 部件名称 | 数量 | |||||||
| 1 | RCA全自动清洗机 | 1 | 设备主机 | 1 | L2200*W1500*H2000 以实际设计尺寸为准 | PP机架 | ||
