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RCA全自动清洗机

全自动模组化设备

产品描述

全自动模组化设备,槽体按工艺要求配置,可搭载EFEM及OHT

前置机械手,可做兼容模式(4"/6\ 6"/8'\ 8"/12") 

干进干出,有IPA Dryer/SRD依工艺要求选择合适的Dryer Type 

有效清除残留在晶圆表面的Organic, Particle, metal污染的清洁,进阶搭配03, FR, HF Last

产品参数



    号
设备型号名称数量单台设备组成部件设备外形尺寸(mm)备注
部件名称数量
1RCA全自动清洗机1设备主机1 L2200*W1500*H2000
    以实际设计尺寸为准
PP机架

020-38699788

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