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全自动去光阻有机清洗机
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全自动去光阻有机清洗机
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全自动去光阻/有机清洗机

光阻作用在IC制造的光置掩模,用于蚀刻,注入等工艺,使命完成后加以去除干净。

产品描述


全机台不锈钢骨架/槽体/外壳烧焊/漏水测试全自主制造,不外包超音波槽采双频40/8OKhz三频机40/80/120Khz

各自功率不打折扣,实现全方位去胶实力 

机械手臂有主动式防撞及防叠货安全设计 兼容(4"/6\ 678"、8712")晶圆,一机多功能 支持GEMS/SECS软体自动化要求。

产品参数



    号
设备型号名称数量单台设备组成部件设备外形尺寸(mm)备注
部件名称数量
1

全自动去光阻清洗机
全自动有机清洗机

1设备主机1 L2200*W1500*H2000
    以实际设计尺寸为准
不锈钢机架

020-38699788

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