化镣:

将PT过滤桶内部磷，碑等清洗出将浓度降低至 不会有自燃现象,用机械手将滤筒吊移至超音 波槽内拆除后启动超音波槽清洗废液回收桶 需做移动回收交由专业厂商清洁送回再使用。

氮化镣:Ceiling （全自动王水蚀刻清洗机）

石英Cassette/ Parts（自动高温磷酸清洗机）