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FT-IR 光谱仪 INVENIO
布鲁克（Bruker）INVENIO 系列傅里叶变换红外光谱仪（FT-IR）是面向科研与高端分析需求开发的一体化光谱分析平台，具备广谱覆盖、高分辨率和多探测器自动切换等先进特性。其核心采用 RockSolid™ 或 INTEGRAL™ 干涉仪，结合 MultiTect™ 与 DigiTect™ 技术，实现从远红外到近红外甚至可见光的全波段分析。系统支持多达七个内部探测器自动控制，无需拆卸即可高效切换测量模式，显著提升实验效率与数据准确性。 INVENIO 系列具备强大的模块化设计，配备双样品通道（Transit™）和一键快速更换附件（QuickLock™），适配各类 ATR、透射、反射及显微成像模块，广泛应用于材料科学、聚合物、生命科学、化工制药、环境监测等领域。配套 OPUS/OPUS-TOUCH 软件平台，支持自动验证、法规合规（如 21 CFR Part 11）及智能数据处理，是现代科研与质量控制中不可或缺的先进表征工具。
产品描述
可对半导体工艺中常见材料（如硅氧化物、氮化硅、光刻胶残留、多晶硅、有机/无机杂质等）进行快速、非破坏性检测，广泛用于薄膜厚度分析、界面官能团识别、等离子刻蚀残留表征、清洗效果验证、杂质监测等环节。系统支持多种附件扩展，包括 ATR 接触模块、反射镜附件、红外显微镜等，适配不同晶圆尺寸和工艺要求。
搭配 OPUS 系列软件，系统可实现自动化测量、谱图建库、质量控制与法规合规分析，是科研开发、工艺优化与失效分析过程中不可或缺的关键表征设备。提供强大的灵活性与可扩展性，适合集成电路制造、材料研发、第三方检测机构及高校实验室的精密分析需求。
产品参数
光谱范围与分辨率
- 光谱范围：15cm⁻¹ 至 28,000 cm⁻¹，涵盖远红外（FIR）、中红外（MIR）、近红外（NIR）和可见/紫外（VIS/UV）区域 。
- 分辨率：最高可达 0.085 cm⁻¹，满足高精度分析需求 。
干涉仪与光学系统
- RockSolid™干涉仪：永久对准、免维护设计，采用双角反射器和无磨损支点结构，确保长期稳定性和高通量
INTEGRAL™干涉仪：集成三位光束分束器自动切换器，实现全自动多光谱范围测量 。
探测器与多通道配置
- MultiTect™技术：支持最多 5 个室温探测器的自动控制，如 DTGS、InGaAs、Si 二极管或 GaP, 覆盖 FIR 至 UV/VIS 全光谱范围。
- DigiTect™插槽：用户可更换的探测器插槽，支持液氮冷却探测器，提供更高的灵敏度和稳定性。
最大探测器配置：通过 MultiTect™ 和 DigiTect™ 技术，可配置多达 7 个内部探测器，满足多样化分析需求。
样品处理与通道设计
- Transit™通道：第二样品室，允许同时进行两种实验设置，提高实验效率。
QuickLock™机制：快速更换附件，简化操作流程 。
软件与自动化功能
- OPUS-TOUCH软件：集成触控 PC，提供直观的用户界面，支持自动数据导出、多测量工作流程等功能 。
