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Thermo Scientifi Axia ChemiSEM
Thermo Scientific™ Axia™ ChemiSEM 引入一种全新的能谱分析概念，采用独特方法进行样品成分信息的采集、处理和展示。传统能谱会利用二次电子或背散射电子信息，却不利用其图像进行数据处理，因而数据获取速度较慢，而且图像分辨率相对粗糙。相比而言，Axia ChemiSEM 采集数据所用的是同一扫描发生器，将扫描电镜图像与能谱图像完美对中，因而图像更加锐利，图像噪音更少。另外，此外，脉冲处理采用自适应脉冲整形技术，确保各种条件下均能获得可靠数据。元素分布图通过定量算法形成，因此，所显示的成分数据可靠，且结果中不会出现重叠峰误判等。专有的阴影检测算法帮助确保信息来自于 检测到X射线的区域。
产品描述
产品参数
成像与分辨率
项目 参数
加速电压范围 200V ~ 30kV
最大束流 2 μA
分辨率(高真空SE) 3.0nm @ 30kV; 8.0nm @ 3kV
分辨率(低真空SE) 10nm @ 3kV; 3.0nm @ 30kV
分辨率(BSE模式) 4.0nm @ 30kV
放大倍率 5x - 1,000,000x
探测器系统
ETD 二次电子探测器
背散射电子探测器（可伸缩）
低真空二次电子探测器
TrueSight X EDS 探测器（分辨率 129 eV，可选 LX 版）
Nav-Cam™ 导航相机
阴极荧光探测器（可选）
样品台与样品仓
项目 参数
样品台 五轴电动, XY 120 mm, Z 55 mm, 旋转 360° , 倾斜 -15° ~+90°
最大样品重量 10kg (移除ZTR轴), 标准最多500 g
最大样品尺寸 高达 128 mm
样品仓直径 280mm, 10个端口, 支持双EDS对称安装
真空系统
高真空抽气时间：≤2 分钟
低真空抽气时间：≤4.5 分钟
最大低真空压力：150 Pa
'穿透透镜'压差系统，有效减小束散与荷电效应
